工作原理

 

　　HEIDENHAIN直線光柵尺主要由光源、標(biāo)尺光柵（固定部分）和指示光柵（移動部分）組成。工作時，光源發(fā)出的光線透過或反射經(jīng)過標(biāo)尺光柵后形成一系列明暗相間的條紋，這些條紋再通過指示光柵產(chǎn)生莫爾條紋效應(yīng)。當(dāng)指示光柵沿標(biāo)尺光柵移動時，莫爾條紋會發(fā)生周期性變化，這種變化被光電探測器捕捉并轉(zhuǎn)換成電信號輸出。通過對電信號進(jìn)行處理分析，即可獲得精確的位置信息。由于采用了光學(xué)原理，它具有高分辨率和重復(fù)精度，通?？梢赃_(dá)到亞微米甚至納米級別，還具備非接觸式測量的特點，避免了機(jī)械磨損對測量精度的影響，延長了使用壽命。

 

　　技術(shù)特點與優(yōu)勢

 

　　高精度：該產(chǎn)品能夠提供精確的位置反饋，誤差范圍小，非常適合用于需要高定位精度的應(yīng)用場景。

 

　　寬量程：不同型號的產(chǎn)品可覆蓋從幾毫米到數(shù)米不等的測量范圍，滿足多樣化的需求。

 

　　抗干擾能力強：采用信號處理技術(shù)和屏蔽設(shè)計，能夠在復(fù)雜電磁環(huán)境下穩(wěn)定工作，保證數(shù)據(jù)傳輸?shù)臏?zhǔn)確性。

 

　　適應(yīng)性強：適用于各種惡劣環(huán)境條件，如高溫、低溫、濕度變化以及振動等情況，確保長時間可靠運行。

 

　　應(yīng)用領(lǐng)域廣泛

 

　　數(shù)控機(jī)床：作為位置反饋元件，用于實時監(jiān)測刀具或工件的位置，實現(xiàn)精準(zhǔn)加工。

 

　　半導(dǎo)體制造業(yè)：在芯片制造過程中，對于晶圓切割、曝光等工序，提供了不可少的高精度定位支持。

 

　　自動化生產(chǎn)線：幫助機(jī)器人手臂或其他自動化設(shè)備精確定位，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

 

　　科研實驗：在物理實驗、材料研究等領(lǐng)域，用于精確測量樣品的位置變化，獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。